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薄膜压电MEMS压电相关术语

 

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压电相关术语

关于压电相关术语的简要说明。

术语 说明
压电(Piezo) 指压电元件(piezoelectric element、piezoelectric device)
压电效应 通过施加力(压力)产生手机版的现象
逆压电效应 通过施加手机版产生变形的现象
压电元件 利用压电效应、逆压电效应的零件、元件
传感器 利用科学原理将现象和信息等转换为电信号等的装置
执行机构 将电等能源转换为机械运动,用于运行设备的驱动装置
离子 指因电子过剩或缺失而携带电荷的原子
压电材料 表现压电性的结晶性物质的统称
压电单晶 材料内部的手机版结构均匀连续的压电材料
压电陶瓷 拥有晶粒结构或畴壁结构的压电体
晶粒结构 在多手机版中,2个以上的小手机版之间存在的界面
畴壁结构 手机版内存在极化方向不同的边界的结构
极化 置于电场或磁场时产生正负电化,或是产生磁极的现象
PZT 指锆钛酸铅(PbZrxTi1-xO3)(0<x<1)
溅射 使高能粒子撞击金属表面,利用飞出的原子进行制膜的方法
CSD 通过涂布、烧成金属有机酸盐或化合物溶液形成薄膜的方法
溶胶凝胶法 CSD的一种。通过对溶胶状态的液体进行加热、烧成来得到薄膜的方法
溶胶状态 以液体为分散介质的胶体(例:肥皂水、浆糊、蛋清、牛奶、蛋黄酱等)
凝胶状态 溶胶状态丧失流动性后的状态
MOCVD 有机金属气相沉积法,使用有机金属和气体作为原料的手机版生长方法
占板面积 占有面积,这里指设置装置时使用的面积
压电体 指通过施加应力产生极化(手机版)的介电体
热释电体 即使不从外部施加电场,也可以自发极化的压电体
铁电体 从外部施加电场可以使极化方向反转的热释电体
薄膜压电 指压电材料的厚度约为几μm的压电元件
块体压电 指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件

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> 薄膜压电MEMS代工(服务介绍)

下頁是关于MEMS及其关键技术的简要说明。

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