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 首页 > 产品展示 > INFICON膜厚控制系统 > 膜厚控制仪 > 膜厚控制仪
  产品展示
 
 
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产品型号:
INFICON XTC/3系列
产品名称:
膜厚控制仪
产品报价:
产品特点:
膜厚控制仪 INFICON, 薄膜镀层控制技术的全球L先者,现在为您提供高生产价值和低拥有成本的先进手机版。
无论您需要控制产品的合格性,或是用于科研项目。INFICON XTC/3能完全适应您的要求。
先进,实用的单层和多层镀膜速率控制
  INFICON XTC/3系列膜厚控制仪的详细资料:

膜厚控制仪

用于单层和多层镀膜工艺的薄膜镀层控制仪XTC/3装备有ModelLock1技术,提供可靠的模式跳跃防止功能,可达到始终如一的镀膜质量。使用XTC/3 薄膜镀层控制仪,可高度准确地控制镀膜速率与膜层厚度,具有能控制几乎任何膜层数量的能力。容易安装和稳定的可靠性,可确保高的生产率。

特 点

■有单膜层和多膜层型号

■ModelLock技术防止由于模式跳跃导致的膜厚误差

■支持INFICON Crystal 12TM,CrystalSix?和双探头自动晶体切换,用于高生产率

■XTC/3M多膜层型号支持多至99个工艺过程,999个膜层,32个镀层,2个

网页版和两个源

■XTC/3S单膜层型号支持多至9个镀层,2个网页版和两个源

■易阅读的TFT LCD图形显示器

■为便于检索,可指定独特的和描述性的薄膜与过程名称

■有以太网连接软件

■单独运行(无需计算机)或用PC运行的Windows?软件选件

■INFICON XTC/2控制仪的即插即用更换见(限于XTC/2功能和指令组)

 

膜厚控制仪

技术规范

 

功能,参数,或技术规范

XTC/3S单层膜

XTC/3M多层膜

测量分辨的频率变化

+0.05Hz

+0.05Hz

测量区间

0.25秒

0.25秒

厚度和速率分辨/测量

0.06A,在工具/密度=100

0.06A,在工具/密度=100

 

基频=6M Hz

基频=6M Hz

支持XTAL2转换

计算机通讯

RS232标准,以太网TCP/IP选件

RS232标准,以太网TCP/IP选件

最大RS232波特率

115.2千波特

115.2千波特

继电器数

12标准, 无事例可指定

12标准, 事例可指定

可编程继电器功能数

1

1

每个继电器功能

1

1

继电器电压额定值

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

30伏直流或30伏交流RMS或30伏直流

 

42V峰,在2.5安

42V峰,在2.5安

输入数

8TTL, 24伏直流最大

8TTL, 24伏直流最大

可编程输入功能数

1, 无事例可指定

1, 事例指定

记入仪输入数

1

1

手动电源/手持国际

排风扇

测试模式

挡光器延迟

次级工具

最大允许相移频率

1.0 M Hz

1.0 M Hz

机箱尺寸

1/2机架,2U高度

1/2机架,2U高度

速率和膜厚显示分辨

0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从

100至999A/秒

0.1A秒, 从0.0至99.9A/秒;1A/秒, 从

100至999A/秒

 

显示膜厚分辨=1A

显示膜厚分辨=1A

通过输入选择镀层

用户指导语言

英文,中文

英文,中文

控制环

       PID

PID

数据登录

质量和稳定性功能

样品和保持

坩埚选择

坩埚反馈输入

选择控制电压极性

是,+/-2.5,5,10伏

是,+/-2.5,5,10伏

 

15-位分辨率

15-位分辨率

程序锁定码

        是

        是

用户标签过程/镀层

        否

        是

XTC/2 RS232通讯兼容性

是(有限的)

是(有限的)

产品相关关键字: XTC-3膜厚控制仪 XTC-3 晶控仪
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