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 首页 > 产品展示 > INFICON膜厚控制系统 > 膜厚控制仪 > IC6膜厚控制仪
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IC6膜厚控制仪
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IC/6具有宽广的功能,它可启动抽空过程、控制娱乐、启用基片加热器等。这些增强的功能使系统无需配备辅助手机版,从而降低系统的复杂性和成本。IC/6的逻辑与控制功能包含100个可编程的逻辑状态;I/O和TTL继电器电路板提供多至24个继电器输出,28个TTL输入,14个TTL输出,20个计数和20个计时。IC6膜厚控制仪
  IC6膜厚控制仪的详细资料:

通知:INFICON公司将于2010年底停止IC5型膜厚控制仪的生产和销售,但会继续保证在使用中的IC5的保修、维护及零部件供应。

从2010年8月起,INFICON公司将正式开始IC5的替代升级型号:IC6的市场销售。

 

IC6膜厚控制仪

IC/6具有宽广的功能,它可启动抽空过程、控制娱乐、启用基片加热器等。这些增强的功能使系统无需配备辅助手机版,从而降低系统的复杂性和成本。IC/6的逻辑与控制功能包含100个可编程的逻辑状态;I/O和TTL继电器电路板提供多至24个继电器输出,28个TTL输入,14个TTL输出,20个计数和20个计时。逻辑状态可与外输入或输出联用。每个状态可包含多至5个功能,并用布尔逻辑链接。IC/6可为源控制或图形记录仪输出提供6个可赋值的模拟输出、沉积速率、膜厚或沉积速率的偏离。

IC6膜厚控制仪的优势:

在保留了IC5的所有技术特点之外,增加了如下几点新功能:

1)TFT-LCD显示屏替代IC5的CRT显像管;

2)USB数据采集接口取代IC5的软盘驱动;

3)测量精度由IC5的0.0047HZ提高到0.0035HZ;

4)厚度控制分辨率由IC5的0.0058埃提高到0.0043埃;

产品相关关键字: IC6膜厚控制仪 膜厚控制仪 IC/6
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